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半導體廠氣體壓力監測無痛自動化 無線網格網路小兵立大功

文‧RossYu/EnriqueAceves 發布日期:2017/05/15

對半導體晶圓製造而言,相當重要的是細緻、準確地沉積多層化學材料,以形成數千、數百萬,甚至在有些情況下是數十億個電晶體,以構成各種各樣複雜的積體電路(IC)。在製造這些IC的過程中,每一步都要精確計量不同的化學氣體,而氣體使用量差異會很大,這是由不同的製程所決定的。在大多數情況下,這些步驟是高度自動化的。有趣的是,尚未自動化的竟然是一個非常簡單的步驟,這就是保持氣體充足供應。

在凌力爾特位於美國加利福尼亞州聖約瑟附近的矽谷製造廠中,用於晶圓製造的專用氣罐超過了175個。這些氣罐受到了密切監視,以確保不中斷供氣。供氣意外中斷會導致價值數十萬美元的晶圓報廢、損失收入並使產品出貨出現不可接受的延遲。為了避免停機,技術人員需每天3次手工記錄工廠中每個氣罐的壓力,但這種人工流程容易出現人為差錯,維護成本也很高。

以前使用這種手工資料記錄方法,是因為人們認為通訊系統配線很昂貴,在工廠中使用是不實際的。氣罐在工廠中到處都是,而且大多數氣罐附近都沒有AC電源插座或乙太網路插頭。出於安全和抗震原因,用混凝土牆建造了這座工廠,因此安裝新導線成本之高,令人望而卻步。此外,供電及通訊線路安裝這種大型專案也會中斷製造過程,會要求工廠停工。

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