太克(Tektronix)近期宣布推出Keithley S540功率半導體測試系統，這是為高達3kV的功率半導體裝置和結構，提供的全自動48針腳參數測試系統。完全整合的S540是專為與最新複合功率半導體材料，包括碳化矽(SiC)和氮化鎵(GaN)，搭配使用而進行最佳化處理，可在一次探頭接入中執行所有高壓、低壓和電容等測試。
隨著對功率半導體裝置的需求不斷提高，同時，SiC和GaN也日益商業化，製造商正在生產製程中採用晶圓級測試，以有效提升良率並改善盈利能力。針對這些應用，S540顯著地縮短了測試時間和測試設定時間，並減少了占用空間，同時實現了實驗室級高電壓量測效能，進而降低了擁有成本。
Tektronix Keithley產品系列總經理Mike Flaherty表示，許多晶圓廠正使用自訂的混合測試系統來執行功率半導體測試，在從低電壓測試轉向高電壓測試時，需手動變更測試設定，這卻會增加製程步驟並拖慢生產速度。相較之下，S540是一款完全整合的解決方案，特別適合必須迅速測試各種裝置的生產環境。
為提供生產級效能，S540可在高達48針腳上執行參數量測，而不須更換電纜或探棒卡設施，還可執行高達3kV的電晶體電容量測，如Ciss、Coss和Crss，而無須手動重新配置測試針腳。
