東京威力創新設備護航 半導體製程發展兼顧永續

作者: 范語瑄
2023 年 09 月 15 日

Tokyo Electron(TEL)持續深耕先進設備,以滿足半導體晶片的尺寸不斷縮小、製程越來越精密的趨勢,其半導體設備不僅在EUV曝光機前後的塗布和顯影階段,取得近100%的市占。TEL在台子公司東京威力科創SEMICON TAIWAN 2023分享最新技術,幫助半導體先進技術發展兼顧永續。

東京威力科創總裁張天豪表示,該公司的雷射晶邊修整系統可降低潔淨水用量約70%

TEL集團總裁暨執行長Toshiki Kawai表示,根據世界半導體貿易統計組織(WSTS)資料,半導體產業的市場在2022年來到5,740億美元,預期2030更將幾乎翻倍,達到超過1兆美元的市場價值。在此榮景下,隨之而來的巨大能源消耗也成為業界關心的議題。

為此,東京威力科創技術長Peter Loewenhardt分享,該公司最新微影技術能夠減少所需的EUV曝光次數,以節省電力並降低成本;東京威力科創總裁張天豪也表示,該公司的雷射晶邊修整系統能夠以雷射技術取代過去用潔淨水(Deionized Water)的清洗,因此可降低潔淨水用量約70%。

張天豪表示,東京威力看好半導體未來發展,並持續於台灣進行投資,兩年前成立台灣技術中心,引進先進技術和設備,兩年來,實體加上線上課程,已累積約五千名工程師受訓。今年打算擴展新竹技術中心,2024年底也預計將成立台南營運中心,逐步加深在台布局。

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