維護7奈米閘極多晶矽移除製程品管 NFET/PFET先進缺陷檢測上場

作者: Ian Tolle / Michael Daino
2019 年 03 月 04 日
隨著後閘極(Gate-Last)製程的高介電金屬閘極整合方案而出現的幾種需要監控的缺陷類型中,鰭片蝕出被普遍認為是最重要的一種。後閘極製程中,源極和汲極的成型期間,閘極先採用犧牲材料。一旦源極和汲極成型完成,犧牲材料(多晶矽)就會被移除,把空間讓給高介電閘極氧化物和金屬閘極堆疊。
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