艾司摩爾(ASML)與比利時微電子研究中心(imec)宣布,雙方已經簽署一項新的策略夥伴協議,聚焦研究與永續發展。
該協議為期五年,目標是透過集結雙方各自的知識和專業,在兩大領域提供有價值的解決方案。首先,開發推進半導體產業的解決方案;其次,開發聚焦永續創新的研究倡議。
此次合作結合完整的產品組合,尤其是開發高階技術節點,採用包含0.55 NA和0.33 NA極紫外光(EUV)、浸潤式深紫外光(DUV)、YieldStar光學量測設備以及HMI單光束與多光束檢測技術。這些工具將安裝在最先進的試驗製程中,並整合到由歐盟及法蘭德斯政府資助的奈米晶片試驗製程,為全球半導體生態系提供用來研發2奈米以下技術的頂尖基礎設備。研發的焦點領域將會包含矽光子、記憶體與先進封裝,為未來基於半導體的人工智慧應用提供完整的堆疊創新。
此次合作的新領域包含為研究流程中的創新發想與活動挹注可觀資助,這些創新帶來環境與社會效益。
ASML執行長Christophe Fouquet表示:「這項協議表明雙方長期合作的下一步,顯現我們為半導體產業開發解決方案的共同志向,也符合我們針對未來會促使普遍社會受惠的科技和創新進行投資的策略。」
imec執行長Luc Van den hove表示:「我們期待持續發展與ASML獨特的長期夥伴關係,為業界提供最先進的圖形化解決方案。此次合作包含完整的產品組合,藉此我們將能拓展並持續精進我們試驗製程的性能,提供整個半導體生態系最頂尖的研發,以應對由AI驅動的技術發展所帶來的挑戰。」
此次合作的投資還有由晶片聯合承諾和法蘭德斯政府所提供的經費補助。奈米晶片試驗製程的採購及營運由晶片聯合承諾經由歐盟數位歐洲計畫和歐洲展望計畫,以及比利時、法國、德國、芬蘭、愛爾蘭和羅馬尼亞這些成員國共同資助。