亞太優勢完成三軸MEMS加速度計製程研發

作者: 侯俊宇
2009 年 09 月 14 日

亞太優勢日前宣布完成三軸微機電系統(MEMS)加速度計製程研發工作,預計於2010年上半年正式提供量產服務,除可進一步降低加速度計成本外,亦將躋身亞太地區少數可提供三軸加速度計製造服務的業者之列。
 




亞太優勢榮譽董事長暨創辦人林敏雄表示,三軸加速度計成本跌破1美元後,將可刺激市場需求。



亞太優勢榮譽董事長暨創辦人林敏雄指出,挾著在MEMS產業近10年的發展經驗,該公司已成功於日前完成三軸壓阻式加速度微感測器微機電製程、封裝、測試等技術開發,並將在明年度上線量產,屆時三軸加速度計成本將可降至1美元以下,有助激勵消費性市場的需求。
 



事實上,國內廠商除亞太優勢外,包括探微科技、台積電也都積極投入MEMS製程的研發。不過,林敏雄強調,在2010年量產後,亞太優勢將為全亞洲除日本外,唯一有能力量產三軸加速度計之廠商。
 



相較於其他業者均採用電容式製程打造加速度計,自日商獲得專利的亞太優勢,採用的是電阻式架構並搭配雙晶片的產品發展策略。林敏雄解釋,電阻式架構的先天特性讓三軸加速度計更精確且更穩定,也有助未來朝向六軸加速度計的開發。而亞太優勢的雙晶片發展策略,則是將標準互補式金屬氧化物半導體(CMOS)與MEMS製程分開,此種模式的好處是可將前者交由聯電等晶圓代工廠商,藉由標準化製程壓低成本;而後者則是亞太優勢的專業所在。
 



最早應用在車輛的加速度計技術,隨著iPhone的問世而普及於消費市場,並吸引如意法半導體(ST)、亞德諾(ADI)、飛思卡爾(Freescale)、博世(Bosch)等廠商的加碼投資。而隨著三軸加速度計逐漸成熟且成本跌破1美元以後,不少業者已開始將眼光放在六軸加速度計與陀螺儀等進階產品領域上。

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