Thermofisher Scientific於2020年7月發表新一代Phenom ProX G6桌上型掃描式電子顯微鏡,針對規格與軟體進行大幅度升級。將SEM放大倍率提高到350,000x,並且突破性的將SEM與EDS整合至一個24吋全螢幕操作介面,點擊滑鼠進行觀測分析一次完成。此次全新發明Live EDS功能,針對影像中顆粒異物能夠快速確認元素成分,將分析效率提升到新高度。
世界各地的科研實驗室致力於突破性的新發現,技術上他們需要更快速、準確地識別樣品的微觀結構的能力。最能幫助他們的是一台多功能的掃描電子顯微鏡,使得這些實驗室保留更高階的落地型電子顯微鏡以進行更複雜的分析。
Phenom ProX G6從上一代的19吋螢幕、SEM觀測和EDS分析各自一個螢幕操作模式,整合升級成一個24吋螢幕,可同時進行觀測和元素分析的操作模式。觀測性能也同時升級,放大倍率高達350,000x,SED、BSD的解析度優於6nm、8nm。
除了上述功能整合與性能升級外,另外新增許多突破性的技術,提高電子顯微鏡使用上的便利與實用性:手動輸入放大倍率:放大倍率除了與前代一樣使用滑鼠操作外,升級後的G6增加手動輸入放大倍率的功能,直接能夠針對用戶的倍率需求設定;Live EDS功能:以往EDS元素分析需要較多時間分析SEM圖像,而新的Live EDS能夠直接在SEM畫面中快速進行元素分析,幫助用戶及時判斷是否為異物或目標物,經過確認再進行元素分析細節,若不是則可以快速移動至下個地方進行觀測,節省以往一半以上的分析時間。
而部分區域對焦功能:新的對焦功能可選定螢幕一部分進行微調,方便客戶在大倍率下,針對想要觀察的區域,直接進行更精細的對焦。