宜特宣布除了布建具理想EDS元素分析能力的穿透式電子顯微鏡(TEM)設備JEM-2800外,更和成大微奈米(μnm)中心進行材料分析技術開發合作,同時聘請該中心副研究員,國內頂尖TEM權威鮑忠興博士擔任顧問。
宜特材料分析經理陳聲宇博士說明,先進半導體製程的開發是否到位,材料之結構與元素分析能力為其關鍵,尤其當製程進入28奈米以下世代,許多傳統分析儀器將面臨瓶頸,此時可達原子級解析度的TEM,將是分析上的唯一解決方案。
企業為了打造效能更高、功耗更低、體積更小的半導體元件,以滿足現今智能產品之需求,各大廠在先進製程開發的腳步越來越快,包括英特爾(Intel)率先進入22奈米製程量產,台積電與三星(Samsung)陸續進入20奈米量產,而聯電則從28奈米跳過20,直接研發14奈米製程。
陳聲宇進一步指出,在TEM各種應用中,又以EDS元素分析需求最為強勁。宜特近期導入JEOL最高階的JEM-2800 TEM設備,同時配置有兩顆100平方毫米(mm2)的超大面積EDS偵測器,訊號接收總面積高達200平方毫米,將會是客戶在面臨製程問題時的最好幫手。
宜特網址:www.istgroup.com