宜特科技宣布將拓展高階材料分析機台設備，引進穿透式電子顯微鏡(TEM，型號JEOL JEM-2100F)與雙束型聚焦離子束(Dual Beam FIB，型號FEI Helios 600)，建立全新高階材料分析實驗室，以因應奈米材料尺寸不斷微縮且半導體產業朝高階製程發展的趨勢。新實驗室預計於6月9日正式營運。
在微奈米時代下，先進半導體製程與設計規則相對複雜，往往會因微結構的材料表面受到污染或缺陷，干擾原先產品的設計與特性。隨著全球景氣復甦，半導體製造廠商在先進製程委託設計案(NRE)增加當下，更須仔細且精準的材料分析，然而傳統掃描式電子顯微鏡(SEM)卻無法解析到原子級距的高分辨率分析。
宜特材料分析處陳處長表示，穿透式電子顯微鏡具有高達原子級的0.2奈米解析度，雙束型聚焦離子束則是能分析到22奈米製程的產品，這些分析機台對於試片製備的效率與成功率上，將帶來革命性的進步，並協助客戶縮短產品研發驗證時間。
該公司目前主要業務為可靠度驗證(RA)、故障分析(FA)，而新增的材料分析服務將使驗證平台更加全面與完整。宜特科技總經理林正德表示，過去都將材料分析服務外包出去，但今年要拿回來自己做，所有半導體廠、發光二極體(LED)廠與磊晶廠都會用到材料分析服務，宜特將秉持服務優質化、品質百分百的理念，提供完善且符合客戶需求之解決方案。
今年適逢宜特科技成立十五週年，配合材料分析實驗室之開幕，也將於6月9日舉辦先進半導體製程材料分析研討會，與研發人員分享材料分析在製程技術上之應用與解決方案。
宜特科技網址：www.isti.com.tw
