專訪台灣儀器科技研究中心副院長吳光鐘 國研院發表晶圓級點測系統

作者: 張嘉純
2019 年 05 月 18 日
隨著空氣污染防治意識抬頭,以及物聯網時代來臨,氣體感測器需求跟著顯著提升。對此國研院儀科中心運用高度整合的光機電及真空等技術建置了創新高效能「晶圓級氣體感測器高效能點測系統」,將引領台灣廠商搶攻感測器市場,為台灣邁向智慧環境AIoT時代奠定基礎。
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