在相關半導體業者共同努力下,先進製程與立體晶片(3D IC)的商用進展迭有突破,不僅將有助延長摩爾定律為半導體產業所帶來的龐大經濟效益,亦成為今年國際半導體展(SEMICON Taiwan)上備受矚目的發展焦點。
日月光集團總經理唐和明有信心3D IC三年內量產,2.5D IC率先登場補足過度期。 |
日月光集團總經理唐和明表示,使用矽基板(Silicon Interposer)的2.5D IC封裝技術供應鏈已大致完備,最快可在2年內大量生產,將以整合記憶體IC和邏輯IC為主要發展方向,屆時將有助半導體技術順利從40奈米進入到28奈米及其以下製程節點。至於3D IC則可望在3~5年內發生。
唐和明指出,在3D IC正式亮相之前,仍須克服價格、測試、製造、供應鏈和電子設計自動化(EDA)工具等多重困難,加上製作門檻高,屬於高風險技術。3D IC雖可適用於市場上各種元件,但由於供應鏈仍未勾勒出清晰的藍圖,市場發展仍以2.5D IC為優先,以目前市場條件而言,2.5D IC已可導入可觀的應用領域。
由於行動裝置在終端市場炙手可熱,市場對於體積小、功能多的要求迫使系統級封裝與3D IC被視為製程微縮的替代方案。
與此同時,台積電等半導體製造與設備供應商,也不斷朝向20奈米及其以下製程世代邁進。由於投入先進製程需要相當大的成本,加上20奈米製程世代中,許多舊有技術已無法支援高階製程的進展,因而也蘊藏著可觀的設備商機。
台積電奈米製像技術發展處資深處長林本堅指出,在克服20奈米等先進製程挑戰的過程背後,也創造出為數可觀的設備商機。以微影機台為例,不論是極紫外光(EUV)或無光罩(Maskless)微影技術,均有許多新的發展契機。
唐和明強調,3D IC與先進製程的發展並不會互相抵觸,反倒是相輔相成,因為在3D IC中,將須高度仰賴先進製程技術來實現尺寸的微縮,因此,兩者在延續摩爾定律的發展上同等重要。