愛德萬測試(Advantest Corporation)發表E5620缺陷檢測掃瞄電子顯微鏡(Defect Review Scanning Electron Microscope, DR-SEM)，E5620 DR-SEM可應用於光罩各階段所需的製程後缺陷檢測，從空白光罩玻璃到完成圖案轉移的光罩檢測和分類出極小(Ultra-small)缺陷。最新E5620 DR-SEM現已開賣，愛德萬測試並於2022年12月14至16日假東京國際展示場 (Tokyo Big Sight)舉行的日本國際半導體展(SEMICON Japan)進一步揭露其最新E5620 DR-SEM設備細節。
E5620延續前代產品，提供愛德萬測試高穩定影像擷取技術，迅速且簡便匯入光罩光學檢測系統所提供缺陷位置資料，並自動生成缺陷位置的SEM影像。這款次世代系統除了機體精巧可以減少使用樓地板面積外，還針對高數值孔徑(High NA)極紫外光(EUV)光罩需求做出多項升級。
具備高精準度與高效缺陷檢測能力的E5620 DR-SEM，將為次世代光罩產品品質提升做出貢獻，大幅縮短光罩製造的生產週期。E5620關鍵新功能包括：高空間解析度；高穩定、全自動化影像擷取；與光學光罩檢驗系統相容；可選配元素組成分析，以及背向散射電子分析。
