愛普生拓優科夢(Epson Toyocom)已開發出高性能的小型石英式大氣壓力感應器。新感應器採用QMEMS 技術支援特殊原創的壓力感測結構,體積僅12.5cc,重量僅15g,卻能精確至10 Pa或約1/10,000 bar之內,且擁有0.1 Pa的解析度。此項全新開發的產品,預計於2009會計年度完成商品化。Epson Toyocom將於9月30日於日本幕張舉辦的日本高新科技展(CEATEC Japan 2008)公開此一技術,並隨後在10月7日開幕的台北國際電子展(TAITRONICS 2008)展出。
以往壓力感應器大多為了能有精巧的外型而犠牲其性能。因此,需要高效能的應用裝置往往必須採用較大的結構。然而,Epson Toyocom的新型石英式壓力感測器卻能在極小的封裝產品中,同時提供高準確度和高解析度,這都要歸功於英叉式(Tuning-fork)石英晶體單元作為壓力感測元件所提供的極穩定振盪頻率,以及QMEMS技術最新開發的原創壓力感測結構。
Epson Toyocom現正利用此產品所使用的原創壓力感測結構,開發其他各種應用裝置的石英式壓力感測器。公司將透過提升以QMEMS為基礎的微型製造(microfabrication)技術、高穩定石英晶體振盪電路技術、及高準確感測技術,致力於增強其感應性能、並縮減外型尺寸。
愛普生網址:www.EPSON.com.tw