台灣微機電系統(MEMS)設計商將進軍陀螺儀市場。在工研院南分院微系統中心與亞太優勢協助下，台灣MEMS業者已克服陀螺儀因製程複雜所帶來的控制力與精準度不佳等挑戰，並可望於2013年投入量產，與意法半導體(ST)、應美盛(InvenSense)等國際大廠在消費性MEMS市場一較高下。
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| 工研院南分院微系統中心主任張平表示，繼加速度計之後，陀螺儀將成為下一個行動裝置標配，並促使各家MEMS業者爭相投入此一產品開發。 |
工研院南分院微系統中心主任張平表示，繼加速度計成為智慧型手機、平板裝置等消費性電子產品的標準備配後，可精準計算重力速度方位的陀螺儀隨著價格逐步下滑，亦可望逐漸普及於各式裝置中，而其龐大的出貨量增長，將帶動更多市場需求，促使各家MEMS業者競爭日趨激烈。
儘管陀螺儀商機開始湧現，但受限於陀螺儀在製程與結構設計的門檻較加速度計高，過往台灣業者難以量產此一元件，使得目前陀螺儀市場仍為外商所主導。張平認為，儘管台灣半導體IC製造技術相當成熟，但此一成功經驗卻難以複製到MEMS產業；歸究其原因，主要是由於MEMS為高度客製化的元件，其結構高達上百種，導致製程標準難以底定，因此製造經驗的累積相當關鍵。
為協助台灣MEMS業者實現陀螺儀產品設計，工研院南分院微系統中心經過10多年努力，近期已成功研發出首款電容式陀螺儀。張平透露，該款陀螺儀已投片給亞太優勢進行小量試產，並已可提供樣品給台灣MEMS業者進行產品設計，預計明年可望開始量產，協助台灣MEMS產業向上升級。
據了解，目前已有三間台灣MEMS業者獲得工研院南分院微機電系統中心技術轉移，具體技轉內容則包括電容式加速度計與電容式陀螺儀的結構、封裝、測試與製程等技術。
此外，工研院南分院微系統中心也已開始進行加速度計與陀螺儀同質整合的開發計劃。張平指出，由於實現同質整合的首要條件在於各種不同MEMS元件的製程須彼此相容，因此南分院在初期研發時，即選定電容式結構進行加速度計與陀螺儀的研發，以利日後技轉給台灣業者時，能協助其發展多軸MEMS感測器。
然而，現階段台灣MEMS產業在設計與量產經驗方面仍不及歐美業者，想打入國際品牌大廠的供應鏈實屬不易，如何突破此一瓶頸亦成為業界關注焦點。張平分析，對台灣業者而言，短程目標須先求有量，再求獲利，意即犧牲一些毛利率，以換取量產經驗站穩市場腳步；遠程目標則仍要提升產品效能，並持續開發創新應用元件，才是長久之計。
