互補式金屬氧化物半導體製程的微機電系統(CMOS MEMS)因能整合多元化功能，故掀起市場熱潮，國內不僅台積電、聯電兩大半導體龍頭競相投入研發，不少晶圓代工、MEMS廠商也對此市場亦躍躍欲試，日前，矽創電子即證實將與台灣晶圓代工至封裝、測試業者合作，並於2011年推出首款CMOS MEMS加速度計。
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| 矽創電子創新感測事業處處長翁煥翔指出，矽創電子憑藉過去IC設計的基礎，花費約1年的時間開發出CMOS MEMS產品。 |
矽創電子創新感測事業處處長翁煥翔透露，矽創已與國內晶圓代工、封裝及測試廠商結盟，預計於2011年發表首款CMOS MEMS產品–三軸加速度計，而因陀螺儀技術難度偏高，預定2012～2013年才會推出CMOS MEMS三軸陀螺儀。
相較於傳統雙晶片MEMS方案，CMOS MEMS係將MEMS與特定應用積體電路(ASIC)整合在單一晶片，除可節省製造成本，且具備整合多樣性功能的優勢。翁煥翔強調，台灣晶片商憑藉ASIC設計與製造成本長才，若台灣CMOS MEMS供應鏈順利成形，將對國外整合元件製造商(IDM)構成不小的威脅。不過，現階段台商須克服CMOS MEMS良率較低的難題。
瞄準CMOS MEMS後勢潛力，台灣排名前十大IC設計公司的矽創電子，藉由過去IC設計的豐富經驗，以及成本和通路競爭力，積極搶進CMOS MEMS市場。翁煥翔認為，未來CMOS MEMS產業將由晶圓代工廠主導，但即便CMOS MEMS發展成功，基於傳統MEMS成本雖高但良率也較高的考量，CMOS MEMS和傳統MEMS市場主流之爭仍難分高下。
