精準揪出製程缺陷 奈米電性量測明察秋毫

作者: 林萱 / 邱顯益
2023 年 01 月 26 日
各國大廠近年致力挑戰3奈米、2奈米微縮角力戰,製程技術是一場永無止境的競爭。當研發遇上瓶頸時,無論是IC設計、晶圓製造、測試、封裝等,都需要故障分析輔助來釐清問題所在。 而先進製程中的故障分析,對於研發與產能來說更是至關重大,但元件尺寸越做越小,如何在僅有數奈米的微小尺度下,進行電晶體的特性量測以及缺陷處定位則成為了一大難題。...
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