半導體製造商羅姆(ROHM)為了增加SiC功率元件的產能，在Apollo的築後工廠投建了新廠房。該廠房於2019年2月開工，於近日完工並舉行了竣工儀式。
新廠房將配備融合多種節能技術的生產裝置，並使用100%可再生能源發電，是一座全新的環保型工廠。
此外，新廠房也將引進各類型災害對策，並增強業務連續性管理(BCM)體制。2021年1月起將逐步開始安裝生產裝置，並建立可滿足SiC功率元件中長期成長需求的生產系統。
ROHM自2010年開始量產SiC功率元件(SiC SBD、SiC MOSFET)以來，一直在追求領先業界的技術研發，並首次成功量產了全SiC功率模組和溝槽結構SiC MOSFET。 不僅如此，在製造方面，還建立了ROHM集團的垂直整合型生產體制，並透過擴大晶圓的口徑和引進新裝置來提高生產效率，同時還致力於減輕生產過程中造成的環境負載。
不僅ROHM Apollo築後的此棟新廠房，ROHM集團旗下的SiC晶圓製造商SiCrystal GmbH(德國)工廠，也計畫從下一年度開始啟用可再生能源利用率100%的生產體制，因此該廠購入電力產生的二氧化碳排放量將會歸零。上述措施將使SiC晶圓的主要生產製程全部成為使用可再生能源的環保型生產體制。
