自動量測精準分析先進製程參數 TEM量測助2nm製程不卡關

作者: 楊宗勳
2023 年 04 月 20 日
當半導體製程逐漸縮小至3奈米(nm)甚至2nm節點(Node),精準量測每個關鍵參數,並以大數據(Big Data)技術優化生產方法,對於改善製程良率至關重要。但傳統手動量測方法效率低、誤差大,成本又高。因此,唯有透過自動量測,才能快、狠、準取得正確參數,持續產出大量的奈米尺度元件數據,例如:薄膜厚度(Film...
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