製程控制重要性日增 科磊訂單接不完

作者: 黃繼寬
2010 年 08 月 20 日

晶圓廠擴產動作不斷,半導體設備設備商連帶受惠。以晶圓檢測和製程控制機台為主力業務的科磊(KLA-Tencor)於上季接獲公司成立以來的單季最大接單量,達9.56億美元,其中半導體設備的成長幅度高達207%,太陽能與發光二極體(LED)等新業務的成長亦達86%。
 


左起為科磊行銷長Brian Trafas、GEM Candela產品線副總裁Frank Burkeen





科磊行銷長Brian Trafas表示,身為全球第四大半導體設備與最大製程控制設備供應商,在這波半導體景氣復甦中收穫頗豐,且由於奈米製程、太陽光電與LED等元件製造商對製程控制的仰賴度越來越深,因此他相當有信心,未來幾年科磊的業績成長將高於整體半導體設備產業。特別是該公司透過持續購併而跨足的LED與太陽能產業,更將成為帶動公司營收成長的另一顆引擎。
 



為科磊操盤LED、太陽能等新事業的GEM Candela產品線副總裁Frank Burkeen更指出,業界切莫以為摩爾定律(Moore’s Law)不適用於LED、太陽光電等領域。以LED為例,過去這幾年LED元件的每流明單位價格呈指數下滑,發光效率亦接近指數性成長,這些特性都與遵循摩爾定律發展的產業類似,因此,LED製造商若不設法提升良率以鞏固自家的競爭力,很快就會被市場淘汰出局,這也是造成LED製造商對製程控制設備需求日益殷切的原因。
 



事實上,對LED與太陽能電池製造商而言,以往因為這類產品所採用的製程遠不如邏輯與記憶體等半導體元件先進,因此這類元件的製造商對於晶圓檢測(Wafer Inspection)與薄膜量測(Film Metrology)等製程控制技術往往不甚關注。然而,製程控制實為提升元件生產良率,進而保持成本競爭力不可或缺的關鍵。因此,LED與太陽光電廠商已不敢再對製程控制環節掉以輕心,紛紛在自家產線中導入相關機台。

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