黃光光阻包裝材料出現重大突破。為提供光阻製造商更安全、潔淨以及更具成本效益的黃光光阻液態容器，ATMI已研發出採用特殊雙層塑膠技術的全新解決方案，可望全面取代傳統玻璃容器。
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| ATMI材料解決方案資深副總裁Christian Kramer指出，採用特殊雙層塑膠技術的黃光光阻容器，可大幅提升光阻使用效率，降低客戶生產成本。 |
ATMI材料解決方案資深副總裁Christian Kramer表示，由於黃光光阻材料是半導體、液晶顯示器(LCD)與發光二極體(LED)業界常見的耗材之一，且其用量隨著消費性電子市場需求擴大而逐漸提升，因此若能提升包裝與輸送技術，則將有利於降低整體生產成本。
Kramer進一步指出，光阻材料本身具高度侵蝕性，過去皆採用玻璃容器裝載，但也同時衍生易碎、瓶身過重與殘餘量難以取出等棘手問題，再加上材料從填充到運輸儲存與輸送的成本與日俱增，因此產業界正亟需可取代玻璃容器的全新解決方案。
為滿足此一市場需求，ATMI已成功研發出採用特殊雙層塑膠技術的光阻包裝容器–BrightPak。此一容器係由防碎材料製成，即使掉落地面也不易裂，且具備符合人體工學的瓶身與把手設計，可提升操作人員的便捷性與安全性。值得一提的是，此一包裝容器特別設計連接器與汲取管，可讓光阻利用率高達99.9%。
據了解，BrightPak容器是利用預成型吹模的方式，把包含外瓶和可壓縮內袋吹成一個內部容量為4.6公升的雙層特殊塑膠容器，藉此特殊設計使內部容量不但可增加21%的光阻充填，且可壓縮內袋同時也實現間接加壓輸送光阻的創新技術，達到殘餘量有效利用的目的。
至於BrightPak內袋接觸光阻化學品的部分，則是由高純度的抗化學物質材料所製成，藉此防止光阻材料侵蝕容器。此外，此一全新解決方案亦符合於傳統真空幫浦抽取、直接加壓或間接加壓輸送等需求，為客戶提供更靈活的選擇；當間接加壓傳輸光阻時，加壓氣體是在可壓縮內袋和外瓶之間作用，而不會接觸到光阻材料，減少加壓氣體直接溶入化學品風險，以避免微氣泡及其他缺陷的發生。
除光阻材料容器外，ATMI也提供銅製程所需的沉積前軀體(Deposition Precursors)材料，適用於前段及後段製程應用。Kramer補充，為了充分發揮效能，沉積前軀體須被妥善的包裝與傳送至沉積機台，而透過ATMI的技術，前軀體可用多種方式傳送到機台，且不會造成效能衰減。
ATMI目前已有70%的業務在亞洲，而台灣更成為該公司生產與研發的重鎮，藉由貼近半導體製造業者，及時了解客戶需求，以提供客製化服務。
