科林研發推出世界首款生產導向脈衝雷射沉積設備

作者: 黃繼寬
2024 年 04 月 10 日
科林研發(Lam Research)近日發表了世界上第一個以生產為導向的脈衝雷射沉積(Pulsed Laser Deposition, PLD)機台,以實現下世代MEMS麥克風和射頻(Radio Frequency,...
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