Advanced Energy日前宣布推出一系列全新的MAXstreamTM遠端電漿源(RPS) 產品，其特點是適用於半導體晶片製程的反應室電漿清洗系統。MAXstream系列產品有多個不同型號，作業範圍非常寬廣，其他優點包括電源準確度較高、優於同級產品的電漿噴射引燃能力、以及更高的穩定性，因此這是市場上理想的遠端電漿源解決方案。
Advanced Energy半導體產品副總裁暨總經理Peter Gillespie表示，客戶曾向他們表示市場上欠缺一款高效能而又穩定可靠的RPS產品，希望Advanced Energy能夠進軍這個市場，滿足業者的需求。該公司順應時勢，實現他們的夢想。這系列全新的MAXstream產品不但為客戶的製程設備提供具成本效益而又穩定可靠的RPS解決方案，而且還讓Advanced Energy因應市場趨勢，加快進軍這個近年少有創新技術出現但年銷售額約值1.5億美元的RPS市場1。至今為止，這系列產品在市場上很受歡迎，對其來說這是一個很大的鼓舞，在12月內會繼續交貨予多個OEM客戶，預計會繼續取得亮麗的成績。
MAXstream遠比競爭對手的RPS解決方案優勝，因為這款新產品的雙電漿源引燃核心採用完善的設計，確保電漿引燃時保持優於同級競爭產品的穩定性。由於每次分開出擊的引燃非常穩定可靠，令整個作業能保持其穩定性，減少壞機情況出現。MAXstream也充分利用Advanced Energy使用多年並證實有效的分離電漿源物料和相關技術，確保可延長製程反應室的壽命周期以及減少由此而產生的微粒。
