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加速度計再進化 MEMS開創拾音器新體驗

文‧Rob O'Reilly/Alex Khenkin/Kieran Harney 發布日期:2009/10/26 關鍵字:微機電系統致動器MEMS麥克風

微機電系統(MEMS)技術乃是以針對矽晶片積體電路所開發之核心製造架構為基礎所建立。微機電系統領域中以壓力感測器為最早的大量應用,目前在上億組引擎岐管及輪胎當中監測壓力;而微機電系統加速度計在安全氣囊的部署、偵測及汽車警報系統等方面的使用也已經超過了15年。

MEMS加速度計小/薄特性 獲拾音器應用青睞  

典型微機電系統加速度計的核心元素就是由兩組指針所組成的移動橫樑結構(圖1),一組是固定在基底物穩固的接地平面上;而另一組則連結於針對加諸於其上的加速度做出回應動作之大量附著彈簧。此加諸於其上的加速度會改變固定橫樑與移動橫樑指針之間的電容。

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