專訪ST執行副總裁衛博濤　致動器躍居MEMS市場新星

致動器有望成為明日之星。根據Semico Research研究預估，未來微機電系統(MEMS)市場規模將從2013年的124億美元攀升至2018年433億美元，成長潛力一片樂觀，而意法半導體(ST)繼動作、聲學、環境感測器之後，看好致動器，欲藉其開拓MEMS市場新版圖；現階段MEMS致動器已應用於微型反射鏡、相機自動對焦以及3D列印噴墨印頭。

衛博濤進一步解釋，MEMS致動器需要電流驅動以促成移動，而意法半導體可利用BCD(Bipolar-CMOS-DMOS)技術，來產出較佳的高電壓/大電流解決方案。目前，該公司已推出壓電式微致動器，能應用於商業/工業領域的3D列印噴墨印頭；同時，與音圈馬達解決方案相比，該款致動器應用於相機自動對焦，可達到較低的功耗與較快的速度。  

此外，除了瞄準MEMS致動器的新市場之外，意法半導體也繼續研發其他的MEMS感測器，譬如流量計與氣體感測器，使產品更加完整豐富。