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半導體廠設備投資飆高 廠區氣體安全監測更形重要

文‧侯冠州 發布日期:2016/09/10 關鍵字:HoneywellFTIR氣體偵測紅外線光譜

隨著半導體製程日漸精密,晶圓廠的軟硬體投資金額連年飆高,連帶使得廠房安全監控的重要性與日俱增。為了進一步保障廠區作業人員與設備的安全,漢威聯合(Honeywell)推出一系列在半導體產業創新的安全檢測和個人防護一體化解決方案,可有效協助半導體廠房進行安全監測,並強化企業整體風險管控能力。

Honeywell探測器產品事業處台灣區總經理彭寶展表示,隨著半導體製程不斷微縮,先進製程所使用的化學氣體強度越來越強,甚至導入新氣體。然而,半導體製程所使用的氣體中,有許多有毒或高易燃性的危險氣體,須嚴密監測方可確保作業人員健康,並協助半導體廠強化風險控管,降低生命財產發生意外損失的風險。

半導體產業安全檢測及個人防護解決方案更注重設備的穩定、可靠、精確,因為一旦發生安全事故,將給半導體產業帶來無法彌補的人員安全傷害及財產損失,特別是在先進製程設備越來越昂貴的情況下,廠區一旦發生事故,將造成更大的損失。因此,漢威聯合的檢測設備正是考慮此項需求,以高品質的穩定表現和一體化整合的互聯解決方案協助客戶更安全、更高效地實現生產目標。

為滿足精確度越來越高的氣體偵測需求,漢威聯合為半導體產業日常生產環境、晶圓生產區域、實驗室等場所設計固定式氣體監控系統。如最新升級版的ACM150Plus傅立葉紅外線(FTIR)光譜氣體監測儀,可檢測多達六十個點,檢測距離達230公尺,與舊版本相比提供更多採樣點,單點成本更低。

彭寶展指出,一般氣體偵測器若不夠精準,除無法正確偵測出現場氣體變化之外,有時還會發生誤警報的情況。為提升氣體偵測的準確度,ACM150Plus傅立葉紅外線光譜氣體監測儀採用光譜辦別技術。每種氣體都有其特定的光譜特性,就像指紋一樣,因此這款監測儀的氣體偵測準確性相對較高,也不會出現誤判或是發出錯誤警報。

除傅立葉紅外線光譜氣體監測儀外,漢威聯合還具備Vertex化學紙帶氣體監測儀,可進行ppb(十億分之一)級別氣體檢測,當有氣體洩漏時,紙帶便會變色。檢測點多達七十二個,為用戶提供更豐富的布點選擇,從而進行更有效的監測;而該產品紙帶材料及監測儀上的光學讀取頭,都是漢威聯合的獨有材料和技術,競爭對手難以研發出性質相似的產品,使該公司在激烈的市場競爭中,具備一定優勢。

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