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人工智慧用處多 半導體製造走向智慧化

文‧黃繼寬 發布日期:2018/11/05 關鍵字:AI大數據分析DNN機器學習

半導體製造是個極度複雜且漫長的生產過程,且每個製程步驟的良率都必須接近100%,才能確保最終生產良率維持在可接受的水準。因此,半導體製造業者很早就開始在產線上設置各種資料擷取機制,並藉由大數據分析等方法進行製程控制。人工智慧(AI)的興起,則讓半導體製造業者有了節省人力,提升分析效率的新方法。

為了確保最終良率,每家半導體業者都必須在晶圓生產過程中安插或多或少的製程控制(Process Control)節點。這些節點除了可監控晶圓製程的良率變動外,也能早期發現有問題的晶圓,避免其進入下一個製程步驟,徒然浪費時間。

然而,製程控制是相當昂貴的,除了要設置對應的檢測機台外,檢測本身也需要時間,更需要人力來判讀機台數據背後所代表的意義。因此,製程控制究竟該如何進行,才能在效率與良率間取得平衡,遂成為每家半導體製造業者都必須回答的問題。

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