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揮發性化合物氣體感測 空氣品質監控有一套

文‧Paul Wilson 發布日期:2018/12/24 關鍵字:eTVOCeCO2MOXams氣體感測器

在20世紀的大部分時間裡,氣體偵測和分析幾乎完全是實驗室裡的科學儀器設備才能做的事。但是在跨入21世紀後,能夠偵測氣體組成的精密感測器,無論是尺寸和價格都有所減少,使得氣體感測器IC設計可以付諸量產。

今天,最受歡迎的氣體感測器晶片應用與空氣品質監測相關,可以支援家庭和建築物自動化(Home And Building Automation, HABA)系統的運作,觸發空氣清淨機和淨化器,以及為智慧型手機等消費性裝置的生活和家庭環境應用提供數據。

現今應用中的氣體感測器晶片,通常是使用由金屬氧化物(MOX)材料製成的微加工(Micro-Machined)感測元件。在主動感測模式下,此元件會被加溫至150℃和450℃之間。在這樣的高溫下,感測元件的電阻會隨著暴露於各種類型的還原或氧化氣體而發生變化。藉由測量電阻的變化,就可以計算環境空氣中氣體濃度的相對值。在空氣品質監測應用中,這些單一元件氣體感測器能提供極高價值,艾邁斯半導體(ams)的MOX型CCS811氣體感測器(圖1)就是此類產品,這類氣體感測器提供兩個主要優點:

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