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達成完美電路圖案 精確控制製程變異性是關鍵

文‧英特格 發布日期:2019/05/11 關鍵字:微影像控制器EUV光罩圖靈模式

啜飲香濃的咖啡時,您是否曾經想過葉子的脈絡、斑馬的花紋或孔雀的斑點圖案,到底是如何形成的呢?

艾倫.圖靈(Alan Turing)做到了,他在1952年以數學方式定義了反應擴散系統模型(圖1),並回答了這個問題。這套系統裡的元件可以彼此互相影響,形成的圖案還會擴散到更大的系統。在這個模型裡,所有的圖案同時具備可預測性與獨特性。儘管圖靈本身是名頂尖的電腦科學專家,而這項研究超出了他的專業領域,但是後人卻能套用其中的邏輯,來預測自然界裡的種種圖案與模式。

人類指紋是自然界一項獨特的圖案。我們的指紋同時由化學與機械反應構成,所產生的識別因素不但絕無僅有,更是人類一生所繫。這些獨特的圖案不但形成過程複雜,更不容易摧毀。與這類自然界圖案不同的是, 微影成像圖形則是較為容易出錯。

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