小巧/高效/CP值高　MEMS感測器潛在應用廣

微機電系統(MEMS)元件能夠超越傳統機電元件可以實現之目標，現正在廣泛的產業領域中獲得巨大市場推動力。從汽車到消費性電子，從工廠自動化到醫療產業。MEMS感測器以緊湊外形尺寸和極具吸引力之價格提供高度可靠的運作和高性能。MEMS感測器還具備額外的便利性，可以直接整合所需的任何訊號調節或介面電路(將其部署在共用的矽基板上)。這方面也可能成為MEMS向前發展實現其他重要益處的關鍵，因為透過這種方式，將有更大的機會實現感測器融合，多個感測元件的輸出可以彙集在一起，以提高準確度並保障長期運作完整性。此文詳細介紹了基於MEMS感測器融合的未來可能性，並給出了一些已經開始出現的例證。

MEMS是一種工程空間技術，主要仰仗於機械和機電裝置及相關結構的小型化。這些可以透過多種技術創建，統稱為微製程(Microfabrication)。與這種MEMS元件相關的尺寸(Form Factors)可以從幾個mm直到次微米(Sub-micron)級。有些元件可以運動，但其他元件會在裝置中保持靜態。

MEMS技術有許多潛在用途，但它目前在轉換器(Transducers)領域具有最重要影響。作為通用術語，轉換器可以涵蓋將能量從一種形態轉換為另一種形態的任何裝置。在MEMS環境中，這將是機械能到電能，或者反過來的方式，包括微感測器和微致動器(Micro-actuators)。