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在晶圓階段確認特性 點測設備助力氣體感測器開發

文‧卓文浩/林儀豪/林郁欣/陳柏睿/葉瑞鴻 發布日期:2019/10/07 關鍵字:量測儀器氣體感測器點測系統

科技進步不僅促進工業化與城市化的快速發展,同時車輛與工廠增加帶來了許多的空氣汙染,而空氣中有毒物質與微小粒子如PM2.5,長期累積會對人體健康形成重大危害。2014年的高雄氣爆事件,以及近年來秋冬之際,台灣西部空氣品質屢屢惡化,都顯示氣體成份與微小粒子PM2.5等氣體感測器將是環境感測技術發展重點。

物聯網的發展風潮,帶動了感知層中感知技術、辨識技術、控制技術各種需求的增加,感測器種類繁多,動作、聲音、影像、溫度、濕度、氣壓、氣體、紫外線等各式各樣的感測器,空氣品質監測與氣體感測器便屬於其中之一。

2018年法國市調機構Yole Dévelopment預估,2021年氣體感測器市場可成長至9.2億美元的規模,2022年挑戰10億美元(圖1),其中又以行動裝置與穿戴式裝置的成長幅度最大。

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