ASML接獲設備大單 EUV微影商用進展邁大步

作者: 廖昱如 / 邱元儂
2015 年 06 月 04 日
微影設備製造商ASML近期宣布,接獲美國一家主要客戶十五部EUV機台訂單,並將於今年底開始陸續出貨;同時間,日本光阻材料大廠JSR也與IMEC合資成立新公司,致力生產EUV微影所需的光阻劑,為EUV微影技術的商用發展揭櫫新的里程碑。
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