EDS分析應考量輕元素吸收效應　碳/氮/氧低能量X光易被吸收(1)

作者： 鮑忠興
2024 年 09 月 13 日
在進行TEM/EDS成分分析時，特別是涉及碳、氮、氧等輕元素時，低能量X光被吸收的效應仍然相當明顯，而且被吸收的量會隨著試片厚度的變化而改變。必須藉由某些特殊的校正技術，才能重新拉回準確度。 隨著半導體技術的不斷演進，奈米區域成分分析在新製程開發中的重要性日益突顯。透過透射電子顯微鏡/能量分散光譜(TEM/EDS)技術，研究人員能夠深入鑑定奈米區域的成分資訊。然而，在進行TEM/EDS成分分析時，特別是涉及碳、氮、氧等輕元素時，低能量X光被吸收的效應仍然相當明顯，而且被吸收的量會隨著試片厚度的變化而改變。...
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