ESG壓力山大　半導體產業鏈全力接招

作者： 黃繼寬
2022 年 09 月 05 日
雖然艾司摩爾(ASML)並未公布EUV設備耗電量數字，但業界普遍認同，由於EUV光源的能源轉換效率只有0.02%上下，導致EUV設備的耗電量，可達傳統氬氟雷射(ArF)的10倍以上。以250W輸出功率計算，一台EUV每天就要消耗3萬度電力。...
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