Lam Research協作機器人力助晶圓製造設備維護

作者: 吳心予
2024 年 12 月 16 日
科林研發(Lam Research)推出半導體協作機器人(Cobot)Dextro,旨在最佳化晶圓製造設備的關鍵維護任務。Dextro現已部署至全球多個先進晶圓廠中,可實現準確、高精度的維護保養,以最大限度地減少設備停機時間和生產變異。它驅動了一步到位(FTR)的顯著成果,進而提高了良率。...
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