國家儀器(NI)近日推出NI PXIe-4135電源量測單元(SMU),其提供10fA的量測靈敏度與高達200V的電壓輸出。透過該公司旗下PXI SMU的靈活彈性、高通道數密度、絕佳的測試輸出率,工程師可使用新款SMU量測低電流訊號,並執行晶圓參數測試、材料研究、低電流感測器與IC的特性測試等多種應用。
NI自動化測試總監Luke Schreier表示,半導體裝置越來越複雜,該公司必須重新思考傳統的研究方法、特性測試與穩定度量測,這也正是投資SMU PXI的主要原因。全新推出的SMU不僅可降低測試時間、增加通道密度,現在還能提供10 fA靈敏度、更優良的量測品質。
IMEC研究員Bart De Wachter博士則表示,行內參數測試必須擷取數百萬個資料點,過程中常會產生數微微安培的洩漏電流。新款SMU可準確量測這些低電流訊號,並同時享有PXI平台的快速除錯與LabVIEW提供的系統設計彈性。
工程師可透過該款模組化SMU打造體積精巧、平行的多通道數系統,並享有多達68個SMU通道的單一PXI機箱,能夠針對數百個通道執行晶圓穩定性測試與平行測試。此外,使用者可善用高速通訊匯流排、精確的硬體序列與數位控制迴路技術,藉此提高測試輸出率,並能客製微調任何待測裝置的SMU響應。
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