薄膜厚度/晶圓曲度控制有解 矽基氮化鎵LED商用可期

大尺寸矽基氮化鎵LED商用化指日可待。矽基氮化鎵具備低成本優勢,取代藍寶石基板氮化鎵LED成為市場主流呼聲高漲,惟目前仍須先克服如晶圓彎曲度和薄膜龜裂、氮化鎵薄膜品質和表面平整度、N型氮化鎵摻雜濃度和厚度等技術關卡,才能真正實現大量量產的目標。
2014 年 06 月 15 日

大尺寸磊晶技術突破 GaN-on-Si基板破裂問題有解

大尺寸矽基氮化鎵(GaN-on-Si)基板發展露曙光。工研院利用氮化鋁(AIN)緩衝層薄膜材料,以及氮化鋁鎵(AlGaN)/氮化鎵超晶格(Superlattices)低缺陷密度緩衝層技術,已成功製作出高品質且表面無破裂的矽基氮化鎵磊晶圓,讓該技術可望邁入6吋以上晶圓世代。
2013 年 06 月 06 日