PV非接觸/非破壞測試提升檢測速度/精度

許多待測物由於輕、薄、脆弱或須於行進間動態測試等因素,不得不選擇非接觸性檢測,以時下熱門的太陽能電池製程為例,在封裝前段作業的晶圓檢測篩選就是典型例子。此晶片品管檢測目的之一為快速量測電阻率(Resistivity)(或稱電阻係數)及厚度,電阻率關係到太陽能電池成品光能轉電能效率高低;厚度則與成品可靠度有關。
2010 年 02 月 11 日