物理感測器技術升級 消費性MEMS浪潮興起

在相關業者努力下,以矽材質為基礎的微加工技術已漸趨成熟,讓MEMS得以複製微電子產業規模經濟的成功模式,並進入對價格、尺寸、功耗極為敏感的消費性應用市場。未來,隨著產線轉移至8吋廠,以及多重感測器整合技術的成熟,將更進一步擴大MEMS的應用範疇。
2008 年 01 月 28 日