半導體廠氣體壓力監測無痛自動化 無線網格網路小兵立大功

對半導體晶圓製造而言,相當重要的是細緻、準確地沉積多層化學材料,以形成數千、數百萬,甚至在有些情況下是數十億個電晶體,以構成各種各樣複雜的積體電路(IC)。在製造這些IC的過程中,每一步都要精確計量不同的化學氣體,而氣體使用量差異會很大,這是由不同的製程所決定的。在大多數情況下,這些步驟是高度自動化的。有趣的是,尚未自動化的竟然是一個非常簡單的步驟,這就是保持氣體充足供應。
2017 年 05 月 15 日