迎戰晶圓均勻度挑戰 電漿蝕刻製程控制技術求新求變

為了達成良率與元件效能需求,控制製程變異性,取得可重複的穩定結果是非常重要的。隨著技術節點的進展,以及設計規則的改變,業界需要更嚴格的製程控制。有許多因素會造成變異性,所有的案例一般可歸納為:在晶粒中、晶圓、晶圓到晶圓、以及腔體到腔體。
2016 年 10 月 16 日