imec/三井化學推動EUV奈米碳管光罩護膜商用

比利時微電子研究中心(imec)攜手三井化學共同宣布,為了推動針對極紫外光(EUV)微影應用的奈米碳管(CNT)光刻薄膜技術商業化,雙方正式建立策略夥伴關係。 此次合作,三井化學將把imec根據奈米碳管所研發的創新光罩護膜技術,整合至三井化學的光刻薄膜技術,目標是實現能夠全面投產的規格,預計將在2025~2026年導入高功率的極紫外光(EUV)系統。此次簽約於2023...
2023 年 12 月 25 日