科磊新量測設備增強5D圖案成形技術

科磊(KLA-Tencor)推出兩款支援16奈米(含)以下尺寸積體電路元件的研發和生產的量測設備–Archer 500LCM和SpectraFilm LD10。Archer 500LCM 疊層(Overlay)測量設備在提升良率的所有階段提供準確的Overlay...
2015 年 03 月 06 日