KLA-Tencor新款缺陷檢測系統改善製程/設備監控挑戰

美商科磊(KLA-Tencor)宣布推出兩款全新缺陷檢測產品,在矽晶圓和晶片製造領域中針對尖端邏輯和記憶體節點,為設備和製程監控解決兩個關鍵挑戰。Voyager 1015系統提供了檢測圖案化晶圓的新功能,包括在光阻顯影後並且晶圓尚可重做的情況下,立即在微影單元中進行檢查。Surfscan...
2018 年 07 月 26 日