EV Group推出新世代GEMINI全自動300mm晶圓鍵合生產系統

EV Group推出新世代GEMINI全自動晶圓鍵合生產系統,適用於300mm晶圓。新世代GEMINI設備平台以全球高產能製造晶圓鍵合的產業標準為基礎,包含全新設計的高強度鍵合腔體,可確保在更大的晶圓上製造的MEMS元件具備優異的鍵合品質與良率。EVG已出貨數台此全新設備平台的GEMINI系統交付給多家MEMS製造商。...
2025 年 03 月 27 日