Brewer Science發布先進節點晶圓曝光製程解決方案

Brewer Science近日在2018年SPIE先進微影展覽會推出與 Arkema 合作研發的 OptiLign商業品質導向的自組裝(DSA) 材料組。目前OptiLign系統的自組裝製程需要三種材料:嵌段共聚合物、中性層以及導引層,這些DSA材料是利用該公司的商業製造設備製成,而合併研發這些材料旨在發揮最佳效能,提供具成本效益的先進節點晶圓曝光製程,且生產的尺寸降低至12nm。...
2018 年 03 月 12 日