三大分析工具助攻 晶圓表面粗糙度量測精準

不同產品與製程,對粗糙度要求相異甚大,將影響後續鍍膜的附著性。量測粗糙度藉以改善製程有其必要,該如何選擇到位的分析工具呢?
2021 年 03 月 29 日

三大分析工具助攻 晶圓表面粗糙度量測精準

不同產品與製程,對粗糙度要求相異甚大,將影響後續鍍膜的附著性。量測粗糙度藉以改善製程有其必要,該如何選擇到位的分析工具呢?
2021 年 03 月 07 日