愛德萬發表最新缺陷檢測掃瞄電子顯微鏡

愛德萬測試(Advantest Corporation)發表E5620缺陷檢測掃瞄電子顯微鏡(Defect Review Scanning Electron Microscope, DR-SEM),E5620...
2022 年 12 月 14 日

I-PAT一眼看穿 汽車晶圓缺陷篩選率上層樓

減少可靠性缺陷最簡單的方法就是減少所有缺陷,因此部分業者著重改善半導體生產製程的製程控制策略。不過,除了傳統的製程控制之外,一個被逐漸增加採用的補充辦法是利用線上缺陷資料來決定每一個晶片是否合格。
2019 年 10 月 03 日

提升設備監控功能 實現高可靠車用IC設計

近年來汽車電子的應用範疇越來越廣泛,車用IC對於可靠度的要求也比其他IC更高,為IC設計與製造商帶來挑戰。本文將探討半導體產業製程控制--缺陷檢測、量測和資料分析的關鍵概念。
2018 年 11 月 12 日

KLA-Tencor新款缺陷檢測系統改善製程/設備監控挑戰

美商科磊(KLA-Tencor)宣布推出兩款全新缺陷檢測產品,在矽晶圓和晶片製造領域中針對尖端邏輯和記憶體節點,為設備和製程監控解決兩個關鍵挑戰。Voyager 1015系統提供了檢測圖案化晶圓的新功能,包括在光阻顯影後並且晶圓尚可重做的情況下,立即在微影單元中進行檢查。Surfscan...
2018 年 07 月 26 日