Advanced Energy推製程反應室清洗系統用RPS產品

Advanced Energy日前宣布推出一系列全新的MAXstreamTM遠端電漿源(RPS) 產品,其特點是適用於半導體晶片製程的反應室電漿清洗系統。MAXstream系列產品有多個不同型號,作業範圍非常寬廣,其他優點包括電源準確度較高、優於同級產品的電漿噴射引燃能力、以及更高的穩定性,因此這是市場上理想的遠端電漿源解決方案。...
2020 年 12 月 31 日