KLA-Tencor新品連發 晶圓缺陷檢測/監控一網打盡

在美國SEMICON West展期間,KLA-Tencor推出六套晶圓缺陷檢測與檢查系統。這些系統採用一系列創新技術,形成一套全面的晶圓檢測解決方案,使積體電路製造的所有階段都能對影響良率的關鍵缺陷進行檢測與控制。 ...
2016 年 07 月 15 日