提高半導體製程潔淨度 HC管線用加熱器設計再創新

因應先進半導體製程對潔淨度、可靠度愈來愈嚴苛的要求,Heateflex近期推出新型HC管線用投入式加熱器,以及輸入歧管可360度旋轉的液體加熱器/混合器。此兩款產品體積小並完全採用鐵氟龍(PFA)浸濕表面,能使液體於最短時間內達到設定溫度,且讓溫度均勻分布。 ...
2015 年 09 月 09 日